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EPMA（Electron Probe MicroAnalyzer）

〔電子プローブ・マイクロアナライザー／EPMA（Electron Probe(X-ray) Micro Analyzer）あるいはX線マイクロアナライザー／XMA（X-ray Micro Analyzer）〕

最終更新日：2017年1月15日

固体物質（Solid Substance）の微小部分の元素分析（Elemental Analysis）を行う汎用的な機器分析法（Instrumental Analysis Method）の1つがEPMA装置（EPMA Instrument）を用いたものである。EPMA（電子針微小部分析装置、Electron Probe Micro Analyzer）は分析法（Analytical Method：電子針微小部分析法、Electron Probe Micro Analysis）を指すこともある。 　平滑な面（研磨面、Polished Plane）に成形した試料に対して、真空中（in Vacuum）で細く絞った〔直径1マイクロメートル（micrometer、μm）＝0.001ミリメートル（mm）以下〕電子線（Electron Beam）を照射し（Irradiate）、試料中の物質を構成する元素（Element）から発生した特性X線（Characteristic X-ray：発生領域は普通は数マイクロメートル程度である）の波長〔Wavelength：あるいはエネルギー（Energy）〕と強度（Strength）を検出し、元素の種類と濃度（Concentration）を決定する。 　検出装置（Detector）によって2つに分けられる。1つは波長を検出するもの（波長分散型、Wavelength Dispersive Type、WDX）で、精度は高い。本体に組み込んだ形で製造され、本来はこのような装置をEPMAと呼ぶ。もう1つはエネルギーの大きさを検出するもの（エネルギー分散型、Energy Dispersive Type）でEDX（Energy Dispersive X-ray Detector）と呼ばれるが、走査型電子顕微鏡（SEM、Scanning Electron Microscope）に装着して使用する。この場合はSEM-EDXと言うべきだが、EPMAとも呼ばれる。 　EPMAの利用により、微小な固体物質の元素分析（化学分析）が可能となった。現在では標準的な（Standard）機器化学分析法（Instrumental Chemical Analysis Method）の1つである。

• 顕微鏡は『顕微鏡』のページを参照。
  実体顕微鏡は『顕微鏡』のページを参照。
  原子間力顕微鏡は『顕微鏡』のページを参照。
• 光学顕微鏡は『偏光顕微鏡』のページを参照。
• XRFは『XRF』のページを参照。
  分析法全般は『XRF』のページを参照。
• 化学分析は『化学分析とは』のページを参照。
  分析機器は『化学分析とは』のページを参照。
• 年代測定は『年代測定法とは』のページを参照。
• 試料作成は『試料作成法』のページを参照。

【EPMA】

【SEM】（走査型電子顕微鏡　Scanning Electron Microscope）

• 走査型電子顕微鏡
  http://ja.wikipedia.org/wiki/%E8%B5%B0%E6%9F%BB%E5%9E%8B%E9%9B%BB%E5%AD%90%E9%A1%95%E5%BE%AE%E9%8F%A1
  Scanning electron microscope　　http://en.wikipedia.org/wiki/Scanning_electron_microscope
  エネルギー分散型X線分析
  http://ja.wikipedia.org/wiki/%E3%82%A8%E3%83%8D%E3%83%AB%E3%82%AE%E3%83%BC%E5%88%86%E6%95%A3%E5%9E%8BX%E7%B7%9A%E5%88%86%E6%9E%90
  Energy-dispersive X-ray spectroscopy　　https://en.wikipedia.org/wiki/Energy-dispersive_X-ray_spectroscopy
• 走査型電子顕微鏡画像資料集　　http://www.asahi-net.or.jp/~QF7N-ADC/
  　阿達直樹氏による。
• 簡単！　SEM入門　　http://tech-staff.yz.yamagata-u.ac.jp/kyozai/gakunai/semnyumon.htm
  　山形大学工学部技術部による。
• 走査型電子顕微鏡（SEM)の原理･特徴　　http://analysis.ikaduchi.com/sem.html
  　ジャパン・リサーチ・ラボの中のページ。　
• 走査型電子顕微鏡（SEM）で分かること　　http://tech-staff.yz.yamagata-u.ac.jp/kyozai/fe-sem/SEM-EDS.pdf
  　 菊地新一氏による。2003年3月25日、9p。
• World of Scanning Electron Microscope　　http://www.mse.iastate.edu/research/laboratories/sem/microscopy/
  　Iowa State UniversityのMaterials Science and Engineeringによる。
• SEM/EDX/Arts Images　　http://www.ldeo.columbia.edu/res/fac/micro/images.section/index.html
  　Dee Breger氏によるScanning Electron Microscopy X-Ray Microanalysis Micrographic Artsの中のページ。

【TEM】（透過型電子顕微鏡　Transmission Electron Microscope）

• 透過型電子顕微鏡
  http://ja.wikipedia.org/wiki/%E9%80%8F%E9%81%8E%E5%9E%8B%E9%9B%BB%E5%AD%90%E9%A1%95%E5%BE%AE%E9%8F%A1
  Transmission electron microscopy　　http://en.wikipedia.org/wiki/Transmission_electron_microscopy
• 透過型電子顕微鏡（TEM)の原理･特徴　　http://analysis.ikaduchi.com/tem.html
  　ジャパン・リサーチ・ラボの中のページ。
• ［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法　　http://www.mst.or.jp/method/tabid/146/Default.aspx
  　MST（財）材料科学技術振興財団の中のページ。
• 透過電子顕微鏡(TEM）　　http://www.jeol.co.jp/products/list_tem.html
  　日本電子（株）（JEOL Ltd.）による。
• TEM分析の豆知識【TEMとSTEMの違い（使い分けについて）】
  http://www.nanoscience.co.jp/knowledge/TEM/knowledge01.html
  　ナノ サイエンス（株）による。
• 透過型電子顕微鏡(Transmission Electron Microscope：TEM)
  http://www.toray-research.co.jp/kinougenri/keitai/kei_001.html
  　（株）東レリサーチセンターによる。
• 透過型電子顕微鏡技術発展の系統化調査　　http://sts.kahaku.go.jp/diversity/document/system/pdf/041.pdf
  　小島建治氏による。2008年3月、52p。

【SPM】（走査プローブ顕微鏡　Scanning Probe Microscope）

• 走査型プローブ顕微鏡（SPM）
  http://ja.wikipedia.org/wiki/%E8%B5%B0%E6%9F%BB%E5%9E%8B%E3%83%97%E3%83%AD%E3%83%BC%E3%83%96%E9%A1%95%E5%BE%AE%E9%8F%A1
  Scanning probe microscopy　　http://en.wikipedia.org/wiki/Scanning_probe_microscopy
  原子間力顕微鏡（AFM）
  http://ja.wikipedia.org/wiki/%E5%8E%9F%E5%AD%90%E9%96%93%E5%8A%9B%E9%A1%95%E5%BE%AE%E9%8F%A1
  Atomic force microscopy　　http://en.wikipedia.org/wiki/Atomic_force_microscopy
  走査型トンネル顕微鏡（STM）
  http://ja.wikipedia.org/wiki/%E8%B5%B0%E6%9F%BB%E5%9E%8B%E3%83%88%E3%83%B3%E3%83%8D%E3%83%AB%E9%A1%95%E5%BE%AE%E9%8F%A1
  Scanning tunneling microscope　　http://en.wikipedia.org/wiki/Scanning_tunneling_microscope
• 表面構造の原子領域分析　　http://www.jpo.go.jp/shiryou/s_sonota/hyoujun_gijutsu/spm/01_mokuji.htm
  　特許庁の中のページ。
• 走査型プローブ顕微鏡　　http://www.jeol.co.jp/science/spm.html
  　JEOLによる。
• 走査型プローブ顕微鏡　　http://www.an.shimadzu.co.jp/surface/spm/spm/index.htm
  　Shimadzuによる。
• 走査型プローブ顕微鏡（SPM/AFM）　　http://www.hitachi-hightech.com/hhs/afm/
  　（株）日立ハイテクサイエンスによる。
• 走査プローブ顕微鏡　　http://www.s-graphics.co.jp/nanoelectronics/kaitai/spm/index.htm
  　サイエンス・グラフィックス(株)による。
• 走査型プローブ顕微鏡（SPM・AFM)の原理･特徴　　http://analysis.ikaduchi.com/spm.html
  　ジャパン・リサーチ・ラボの中のページ。
• 走査プローブ顕微鏡　　http://dora.bk.tsukuba.ac.jp/glossary-spm-intro.html
  　重川研究室による。
• Scanning Probe Microscopy (SPM)　　http://www.mobot.org/jwcross/spm/
  　John W. Cross氏による。2003年6月13日。

【SIMS】（二次イオン質量分析法　Secondary Ion Mass Spectrometry）

• 二次イオン質量分析法（SIMS）
  http://ja.wikipedia.org/wiki/%E4%BA%8C%E6%AC%A1%E3%82%A4%E3%82%AA%E3%83%B3%E8%B3%AA%E9%87%8F%E5%88%86%E6%9E%90%E6%B3%95
  Secondary ion mass spectrometry　　http://en.wikipedia.org/wiki/Secondary_ion_mass_spectrometry
  SHRIMP（Sensitive High Resolution Ion Microprobe）　　http://ja.wikipedia.org/wiki/SHRIMP
  Sensitive high-resolution ion microprobe　　http://en.wikipedia.org/wiki/Sensitive_high-resolution_ion_microprobe
  飛行時間質量分析計（⇒飛行時間二次イオン質量分析計）
  http://ja.wikipedia.org/wiki/%E9%A3%9B%E8%A1%8C%E6%99%82%E9%96%93%E8%B3%AA%E9%87%8F%E5%88%86%E6%9E%90%E8%A8%88
  Time-of-flight mass spectrometry　　http://en.wikipedia.org/wiki/Time-of-flight_mass_spectrometry
• ［SIMS］二次イオン質量分析法　　 http://www.mst.or.jp/method/tabid/65/Default.aspx
  ［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法　　http://www.mst.or.jp/method/tabid/128/Default.aspx
  　MST（財）材料科技術振興財団の中のページ。
• 二次イオン質量分析装置【SIMS】　　http://www.asahi-kasei.co.jp/akasc/equipment/hyomen_sims.htm
  　旭化成（株）基盤技術研究所の中のページ。
• SIMS(二次イオン質量分析計)
  http://staff.aist.go.jp/miyagi.iso14000/Works/Exp/sims/HomePage.html
  　宮城磯治氏による。
• Annual Workshop on SIMS　　http://www.simsworkshop.org/
• SHRIMP　　http://shrimp.anu.edu.au/

【表面分析】

• （社）日本表面科学会　　http://www.sssj.org/
• SASJ表面分析研究会　　http://www.sasj.jp/index.html
• サイトマップ　　http://www.nanoscience.co.jp/sitemap/index.html
  　ナノサイエンス（株）の『表面分析受託サービス』の中のページ。
• 表面分析・形態観察　　http://www.scas.co.jp/electronics/01.html
  　SCAS（株）住化分析センターの中のページ。
• 表面分析　　http://www.natc.co.jp/business/surface.html
  　Nitto（株）日東分析センターの中のページ。　
• 表面分析　　http://www.toray-research.co.jp/kinougenri/hyoumen/
  　（株）東レリサーチセンターによる。
• 表面分析法の種類　　http://ha2.seikyou.ne.jp/home/Takehito.Senga/geocity/surfacemethod.html
  　千賀岳人氏による気体・固体の光化学のページの中のページ。
• 表面分析の広場　　http://tri-osaka.jp/fields/kinpyou/surface/analy.html
  　大阪府立産業技術総合研究所機械金属部による。
• 表面組成分析　　http://www.an.shimadzu.co.jp/surface/pindex.htm
  　島津製作所による。
• 表面分析の話　　http://hr-inoue.net/zscience/topics/analysis/analysis.html
  　H.INOUE氏による私編　雑科学ノートの中のページ。

【用語集】

• 透過電子顕微鏡 基本用語集　　http://www.jeol.co.jp/words/emterms/
  走査電子顕微鏡 基本用語集　　http://www.jeol.co.jp/words/semterms/
  　JEOLによる。

【QEMScan】

• QEMSCAN（the name for an integrated automated mineralogy and petrography solution providing quantitative analysis of minerals, rocks and man-made materials）
  http://en.wikipedia.org/wiki/QEMSCAN
  Automated mineralogy　　https://en.wikipedia.org/wiki/Automated_mineralogy
  
• 特殊製品　　http://www.fei.co.jp/jp/products/specialty-products/
  　FEIの中のページ。
• QEMSCAN　　http://www.cmr.uct.ac.za/cmr/ra/process-mineralogy-qemscan
  　CMRCentre for Minerals Researchの中のページ。
• Automated Mineralogy and Petrography 　　http://automatedmineralogy.blogspot.jp/
• Automated Mineralogy　　 https://www.zotero.org/groups/automated_mineralogy
  　zotero　の中のページ。
• QEMSCAN　　 https://www.fei.com/products/sem/qemscan/
  　FEIの中のページ。
• QEMSCAN　　 http://www.sgs.com/en/mining/metallurgy-and-process-design/high-definition-mineralogy/qemscan
  　SGSの中のページ。
  【参考】QEMSCAN OPERATIONAL MODES
  http://www.sgs.com/~/media/Global/Documents/Flyers%20and%20Leaflets/SGS-MIN-WA064-QEMSCAN-Operational-Modes-EN-11.pdf
  　　3p。
• QEMSCAN (Quantitative Evaluation of Minerals by Scanning Electron Microscopy): Capability and Application to Fracture Characterization in Geothermal Systems
  https://pangea.stanford.edu/ERE/pdf/IGAstandard/SGW/2012/Ayling.pdf
  　Bridget Ayling e al.による。2012年2月1日、11p。

【その他】

《全般》

• やさしい科学　　http://www.jeol.co.jp/science/
  　JEOLの中のページ。

《X線反射率法》

• X線反射率測定装置の原理と応用　　http://www.jaima.or.jp/jp/basic/xray/xrr-2.html
  　JAIMA（社）日本分析機器工業会の中のページ。
• X線反射率法による薄膜評価　　 http://www.rigaku.co.jp/rigaku.com/app/getappnote.php?getappnote=reflect
  　（株）リガクの中のページ。
  
• X線反射率法(XRR)による薄膜評価　　http://www.nanoanalysis.co.jp/business/case_example_126.html
  　東芝ナノアナリシス（株）の中のページ。2015年2月5日。
• X線反射率測定装置の原理と応用　　http://www.jaima.or.jp/jp/basic/pdf/basic_28.pdf
  　西郷真理氏による。2014年春、3p。
• Ｘ線反射率法と”埋もれた”界面の科学 (08-04-01-33)
  http://www.rist.or.jp/atomica/data/dat_detail.php?Title_Key=08-04-01-33
  　原子力百科事典ATOMICAの中のページ。2005年7月。
• X線反射率ってなに？　　http://www.nims.go.jp/xray/xr/whats0.htm
  　桜井健次氏による。2003年？。

• 表面分析の『リンク』はこちらを参照。

【2010】

• （株）ニッテクリサーチ（HP）による『No.P-9902　ＧＤＳによる各種材料の表面及び深さ方向の分析 』から
  

  各種表面分析装置の分析領域 〜分析可能深さと分析面積の関係〜 GDS： グロー放電発光分光分析装置 AES： オージェ電子分光分析装置 XPS： X線光電子分光分析装置 SIMS： 二次イオン質量分析装置 EPMA： 電子線微小部分析装置 EDX： エネルギー分散型X線分析装置 TEM ： 透過電子顕微鏡 〔（株）ニッテクリサーチの中の『テクニカルレポート』の『No.P-9902　ＧＤＳによる各種材料の表面及び深さ方向の分析 』から〕

• 旭化成（株）研究開発本部基盤技術研究所（HP）による『表面解析装置』から
  

  〔旭化成（株）研究開発本部基盤技術研究所の『解析装置』の『表面解析装置』から〕

• ナノサイエンス（株）（HP）による『表面分析受託サービス』から
  

  各種表面分析手法の検出感度と分析領域の大きさ 〔ナノサイエンス（株）の中の『表面分析受託サービス』から〕

• （株）住化分析センター（HP）による『表面分析・形態観察』から
  

  各種分析法の分析領域（検出感度との関係） 〔（株）住化分析センターの『エレクトロニクス』の中の『表面分析・形態観察』から〕

• ナノエレクトロニクス.jp（HP）による『Scanning Probe Microscopy』から　　
  

  様々なタイプのプローブ顕微鏡（ナノエレクトロニクス.jpによる）

  顕微鏡名			検出対象となる 局所的物理量
  走査型トンネル顕微鏡	STM	Scanning Tunneling Microscopy	トンネル電流
  原子間力顕微鏡	AFM	Atomic Force Microscopy	分子間力
  近接場光学顕微鏡	NSOM	Near-field Scanning Optical Microscopy	近接場光
  磁気力顕微鏡	MFM	Magnetic Force Microscopy	磁力
  摩擦力顕微鏡	FFM	Friction Force Microscopy	摩擦力
  走査型近接場超音波顕微鏡	SNAM	Scanning Near-Field Acoustic Microscopy	超音波
  走査型イオン顕微鏡	SICM	Scanning Ion Conductance Microscopy	イオン伝導

• EPMAの『リンク』はこちらを参照。

【2010】

• 日本電子（株）（JEOL）（HP）による『電子プローブマイクロアナライザ』から
  

  〔日本電子（株）（JEOL）の中の『やさしい科学』の『電子プローブマイクロアナライザ』から〕

【1998】

• 土谷（1998）による〔『電子プローブ・マイクロアナライザー』（1-3p）から〕【見る→】

【1985】

• 平田（1985）による〔『Electron Probe Microanalyzer（EPMA）のおいたち』（82p）から〕【見る→】

• EPMAの『リンク』はこちらを参照。

【1996】

• 山田（1996）による〔『電子顕微鏡Q&A』（133pから）〕【見る→】

【1989】

• 永谷（1989）による〔『エネルギー分散型X線分析−半導体検出器の使い方』（83-84p）から〕【見る→】

• SEMの『リンク』はこちらを参照。

【2010】

• 日本電子（株）（JEOL）（HP）による『走査電子顕微鏡』から
  

  〔日本電子（株）（JEOL）の中の『やさしい科学』の『走査電子顕微鏡』から〕

【1991】

• 朝倉（1991）による〔『顕微鏡のおはなし』（116-125p）から〕【見る→】

• SPMの『リンク』はこちらを参照。

【2012】

• ウィキペディア（HP/2012/8）による『走査型プローブ顕微鏡』から
  

  SPMの種類 1.磁気的な局所物性評価SPM 磁気力顕微鏡（MFM） スピン偏極顕微鏡（SP-STM） 強磁性探針と試料間の磁気力から磁区構造（MFM）または漏洩磁束構造（SP-STM）を評価する。 走査型SQUID顕微鏡 超伝導量子干渉計（SQUID）をプローブとし、試料表面の磁束を評価する。 走査型ホール素子顕微鏡（SHPM） ホール素子をプローブとし、試料表面の磁場を検出する。 2.電気的な局所物性評価SPM 走査型トンネル顕微鏡（STM） 非常に鋭く尖った探針を導電性の物質の表面または表面上の吸着分子に近づけ、流れるトンネル電流から表面の原子レベルの電子状態、構造など観測する。 走査型ケルビンプローブフォース顕微鏡（KFM） 電圧を印加して表面電位を評価する。 走査型マクスウェル応力顕微鏡（SMM） プローブに交流電圧を印加し、表面電位を評価する。 静電気力顕微鏡 パルス電圧を印加し、静電気力を評価する。 走査型圧電応答顕微鏡（PFM） 試料に交番電界を印加した時の微小な変形から圧電特性を評価する。 走査型非線形誘電率顕微鏡（SNDM） プローブに共振回路を接続し、試料に交番電界を印加した時の共振周波数の変化から非線形誘電率を評価する。 3.光学的な局所物性評価SPM 走査型近接場光顕微鏡（SNOM） プローブ先端から近接場光を印加して複素透過率を評価する。 4.原子間にはたらく様々な局所物性評価SPM 原子間力顕微鏡（AFM） 試料と探針の原子間にはたらく力を検出する。 ウィキペディア（HP/2012/8）による『走査型プローブ顕微鏡』から

• SEMの『リンク』はこちらを参照。

【1989】

• 朝倉・安達（1989）による〔『電子顕微鏡をつくった人びと』（50-51p）から〕【見る→】

• 地学系 SEM+EDX管理（不明）