種類 |
概要 |
紫外線顕微鏡 |
・光源に波長の短い紫外線を使うため、分解能が高い
・工業分析での微細計測で利用される |
赤外線顕微鏡 |
・光源に赤外線を使い、サンプルを破壊することなく内部構造を観察できる
・電子部品、半導体の内部検査や生体組織の深部観察に利用される |
測定顕微鏡 |
・長さや高さを高精度測定できる |
ビデオ顕微鏡 |
・標本の拡大像をモニタに表示して観察する
・複数の人が一度に観察できる |
超音波顕微鏡 |
・超音波を用い、サンプルを破壊することなく内部構造を観察できる
・解像度が高い
・半導体の剥離検査やウエハ検査に利用される |
共焦点顕微鏡 |
・光源にレーザー光を使う
・焦点深度が深く、厚みのあるサンプルでもはっきり観察できる
・標本の断層像を連続的に観察することで立体的な顕微鏡画像をつくることができる
・表面構造の観察や表面粗さの高さ計測に利用される |
電子顕微鏡 |
透過型電子顕微鏡 |
・標本に電子線をあて、透過した電子を拡大して観察する
・分解能が高く、数十万の倍率で観察できる
・超薄切切片にした標本を観察する |
走査型電子顕微鏡 |
・標本に電子線をあて、反射した二次電子から得られる像を観察する
・標本の形や表面構造を立体的に観察できる |
走査型プローブ顕微鏡 |
・先端のとがった探針とサンプルの間に流れる微少な電流(トンネル電流)の変化を利用して結像する。原子間力を利用するものもある
・水平方向だけでなく、垂直方向の分解能も高い
・サンプルの原子、分子レベルの観察が可能
・表面形状の高さを明暗の差で表示し、数値情報として記録できる |