電子顕微鏡、Ｘ線マイクロアナリシス

名称	略語	励起子	信号子	得られる情報	特長	空間分解能
オージェ電子分光	AES	電子	オージェ電子	表面元素同定(Li以上)	表面組成の定量分析	径：<500 Å 厚：10〜20 Å
電子線マイクロアナライザ	EPMA	電子	特性X線	微小部元素組成分析	定量補正法確立	径：>0.5 mm 厚：0.3〜数mm
ラザフォード後方散乱分光	RBS	イオン	イオン	元素の深さ方向分布	非破壊での深さ方向分布測定	径：20〜200 Å 厚：〜1 mm
走査電子顕微過鏡	SEM	電子	電子	表面の凹凸形状	あらゆる固体材料に適用	径：>20 Å
二次イオン質量分析	SIMS	イオン	イオン	表層元素分析、深さ方向分析	全元素分析高感度	径：数mm〜数mm 厚：数〜数十Å
透過型電子顕微鏡	TEM	電子	電子	微小領域イメージ	原子配列の推定	径：〜数Å
X線光電子分光	XPS	X線	光電子	元素同定、結合状態推定	非破壊分析	厚：〜数十Å

• １Å（オングストローム、angstrom（aの頭に゜、oの頭に¨））＝10^-10m（メートル）。